微型熱式氣體質量流量計

微小型熱式氣體質量流量計是一種基于熱擴散原理的精密測量儀表，主要用于微小氣體流量的質量流量檢測?。其核心通過鉑電阻傳感器測量氣體流動時的熱傳導變化，直接輸出質量流量數據，無需溫壓補償?。專為小流量、低流速場景設計。

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一、產品簡介

微型熱式氣體質量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列的傳感器均采用先進的微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑,成本低,易安裝，不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。

二、產品特點

★采用MEMS傳感器，響應速度快；

★ 零點穩定，精度高、重復性好；

★ 量程比寬，流量范圍可選；

★ 顯示方向（0°、90°、180°、270° ）可選；

★ 多種信號輸出可選；

★ 標準機械接口可選；

三、技術參數
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四、在行業領域的廣泛應用

微小型熱式氣體質量流量計憑借其高精度、寬量程比和直接質量流量測量特性，在多個行業領域具有廣泛應用：

1、工業過程控制領域：

石油化工?：監測天然氣、氫氣等易燃易爆氣體的流量，確保工藝安全?；
半導體行業：用于特種氣體的精密配送與控制，避免微小流量波動影響芯片質量?；

窯爐行業：微小型熱式氣體質量流量計在窯爐行業中用于精確控制氧氣、氮氣等氣體流量，優化燃燒效率并保護高溫材料

光伏行業：微小型熱式氣體質量流量計在光伏行業主要用于硅烷、氮氣等工藝氣體的精準控制，通過熱式原理實現高精度測量，適用于CVD、PVD等關鍵設備，提升電池轉換效率；
能源管理?：計量壓縮空氣、氮氣等公用工程氣體消耗，優化能源利用效率?。

2、精密測量與科研領域
? 實驗室研究?：在化學實驗中精確控制微量試劑流量（如0.1KG/H），確保實驗可重復性?；
?環境監測?：測量煙道氣、工業廢氣排放量，滿足環保法規要求?；
?材料科學?：用于特種材料制備過程中的氣體流量控制；
3、醫療與健康領域
?呼吸機與麻醉機?：實時監測氣體流量變化，精準調節氧氣和麻醉氣體輸送量?；
?家庭氧療設備?：確?；颊攉@得穩定的供氧濃度?；
4、環保與能源領域
?大氣污染防治?：實時監測工業廢氣排放流量，結合氣體成分分析提供排放總量數據?；
?新能源開發?：用于氫能燃料電池測試等場景?；
5、其他特殊場景
?汽車電子?：監測發動機進氣流量，優化燃油噴射效率?；
?食品制藥?：高純度氣體計量與流程控制?。

五、機械尺寸

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