一、產(chǎn)品簡介

微型熱式氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低,易安裝，不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。                                          

二、 產(chǎn)品特點

★采用MEMS傳感器，響應(yīng)速度快；

★ 零點穩(wěn)定，精度高、重復(fù)性好；

★ 量程比寬，流量范圍可選；

★ 顯示方向 （0°、90°、180°、270° ）可選；

★ 多種信號輸出可選；

★ 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口可選；

三、技術(shù)參數(shù)

四、在行業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用

微小型熱式氣體質(zhì)量流量計憑借其高精度、寬量程比和直接質(zhì)量流量測量特性，在多個行業(yè)領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用：

1、工業(yè)過程控制領(lǐng)域：

   石油化工?：監(jiān)測天然氣、氫氣等易燃易爆氣體的流量，確保工藝安全?；
   半導(dǎo)體行業(yè)：用于特種氣體的精密配送與控制，避免微小流量波動影響芯片質(zhì)量?；

   窯爐行業(yè)：微小型熱式氣體質(zhì)量流量計在窯爐行業(yè)中用于精確控制氧氣、氮氣等氣體流量，優(yōu)化燃燒效率并保護(hù)高溫材料

   光伏行業(yè)：微小型熱式氣體質(zhì)量流量計在光伏行業(yè)主要用于硅烷、氮氣等工藝氣體的精準(zhǔn)控制，通過熱式原理實現(xiàn)高精度測量，適用于CVD、PVD等關(guān)鍵設(shè)備，提升電池轉(zhuǎn)換效率；
   能源管理?：計量壓縮空氣、氮氣等公用工程氣體消耗，優(yōu)化能源利用效率?。

2、精密測量與科研領(lǐng)域
   ? 實驗室研究?：在化學(xué)實驗中精確控制微量試劑流量（如0.1KG/H），確保實驗可重復(fù)性?；
    ?環(huán)境監(jiān)測?：測量煙道氣、工業(yè)廢氣排放量，滿足環(huán)保法規(guī)要求?；
    ?材料科學(xué)?：用于特種材料制備過程中的氣體流量控制；
3、醫(yī)療與健康領(lǐng)域
    ?呼吸機(jī)與麻醉機(jī)?：實時監(jiān)測氣體流量變化，精準(zhǔn)調(diào)節(jié)氧氣和麻醉氣體輸送量?；
    ?家庭氧療設(shè)備?：確保患者獲得穩(wěn)定的供氧濃度?；
4、環(huán)保與能源領(lǐng)域
    ?大氣污染防治?：實時監(jiān)測工業(yè)廢氣排放流量，結(jié)合氣體成分分析提供排放總量數(shù)據(jù)?；
    ?新能源開發(fā)?：用于氫能燃料電池測試等場景?；
5、其他特殊場景
    ?汽車電子?：監(jiān)測發(fā)動機(jī)進(jìn)氣流量，優(yōu)化燃油噴射效率?；
    ?食品制藥?：高純度氣體計量與流程控制?。

五、機(jī)械尺寸